六氟化硫（SF6）氣體分析儀用于高壓設備（例如高壓絕緣開關、斷路器等）的絕緣和滅弧已經有超過50年的歷史。

SF6是主要的溫室氣體，產生溫室效應的能力是二氧化碳的23900倍。因此，在對變電站維護過程中，測量、監測及采樣SF6是非常重要的環節。

SF6分解后的產物包括少量硫的氟化物，它們可水解生成氫氟酸（HF）及二氧化硫（SO2）。空氣中的水蒸氣及氧氣在局部放電的情況下與SF6分解后的產物發生反應，生成各種劇毒物質，這些物質很難被檢測到。

測量SF6的分解產物非常重要，IEC/CIGRE和ASTM提供了多種這些產物的測量方法，為設備的維護人員提供技術支持。

對SF6的維護及對其質量好壞的分析，在電氣設備的整個使用、維護過程中是非常重要的。

對SF6的分析主要用于：

   確保電氣設備在運輸時或者在注入 SF6氣體時處于正常狀態。

   在設備運行期間，對SF6設備的惡化情況做出診斷。

   對使用過的SF6氣體做合適的處理(例如:回收處理)。

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